화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2006년 가을 (10/27 ~ 10/28, 고려대학교)
권호 12권 2호, p.2439
발표분야 재료
제목 Influence of Film Growth Temperature of Electrochromic Tungsten Oxide Film
초록 화학 기상 증착법을 이용하여 변색소자인 WO3를 제조하였다. Electrochromic Tungsten Oxide films은 ITO glass 위에 증착시키고 Tungsten hexacarbonyl[W(CO)6]와 oxygen(O2)을 각각 전구체와 대응반응물로 사용하였다. 235℃ ~ 265℃에서 공정을 진행하였고 성장 온도에 따른 전기변색 특성을 평가하기 위해 films의 두께를 1500nm으로 일정하게 하였다. 전해액으로 LiClO4를 사용하고 Cyclic voltammetry를 이용하여 Coloring과 bleaching 특성을 평가하였다. 막의 특성은 XRD, FESEM를 이용하여 평가하였다.
저자 정 훈, 김연홍, 김도형
소속 전남대
키워드 WO3; electrochomic device; CVD
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