화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2012년 봄 (04/12 ~ 04/13, 대전컨벤션센터)
권호 37권 1호
발표분야 고분자가공/복합재료
제목 ESD공정을 이용한 투명전도성 박막제조 및 Micro Pattering
초록 투명전도막은 전자디스플레이, 태양전지, 반도체 분야는 물론 LCD의 화소전극 및 각종 센서에 이르기까지 핵심적으로 사용되고 있는 소재이며, 고화질, 대면적화, Flexible화, 박막화, 기능화 등 다양한 요구와 함께 비약적으로 시장이 성장되고 있는 기반기술 분야이다. 본 연구에서는 투명전극의 Flexible화를 위해 ESD공정을 사용하여 PET와 같은 Flexible한 substrate위에 PEDOT, Polypyrrole, SWCNT, Ag ink와 같은 유기전도체 박막을 제작하였으며 높은 균일도와 우수한 전기광학적 특성을 얻을수 있었다. 또한 수 마이크로 선폭의 Pattern을 만들 수 있었다. 이러한 ESD technique를 이용하는 새로운 Deposition기술로서의 thin film 및 Direct Patterning 제작공정을 통해 투명전극분야 뿐만 아니라 유기반도체 및 전자소자에의 응용에의 가능성을 볼수 있다
저자 양종원, 신나리, 장민화, 김슬기, 김진열
소속 국민대
키워드 ESD; PEDOT; Polypyrrole; SWCNT; Ag ink; Micro Pattering
E-Mail