학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2012년 봄 (05/17 ~ 05/18, 무주덕유산리조트) |
권호 | 18권 1호 |
발표분야 | C. 에너지/환경 재료(Energy and Environmental Materials) |
제목 | 인듐 함유 산화물반도체로부터 인듐 회수 |
초록 | 최근 정보 디스플레이에 관한 관심이 고조되고 휴대가 가능한 정보매체를 이용하려는 요구가 높아지면서 경량 박막형 평판표시장치(Flat Panel Display; FPD)에 대한 연구 및 상업화가 중점적으로 이루어지고 있다. 평판 패널 표시장치(FPD)의 스위칭소자로 실리콘 반도체를 바탕으로 하는 비정질 박막트랜지스터(armphous thin film transistor), 다결정 박막트랜지스터(poly crystaline thin film transistor) 등의 기술이 폭 넓게 사용되어왔다. 이러한 기술 중에서 비정질 박막트랜지스터는 낮은 전자 이동도(electron moblility)와 높은 열화 경향으로 응용성에 한계가 있다. 다결정 박막트랜지스터는 높은 제조비용과 낮은 근거리 균일성으로 인하여 폭 넓은 사용에 어려움이 있어왔다. 산화물 반도체를 기반으로 하는 박막 트랜지스터를 이용하여 실리콘 반도체 소자의 문제점을 해결하는 방법에 대한 연구가 주목을 받고 있다. ZnO, SnO2, IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide), IZO (Indium Zinc Oxide) 등의 다양한 재료가 산화물반도체로서 많이 연구되고 있다. 특히 인듐은 광학 재료, 광전자 재료, 화합물 반도체 등 각종 분야에서 활용되고 있는 금속이며, 최근에는 액정 디스플레이(LCD), 플라스마 디스플레이(PDP) 등의 전극 재료 원료 등으로서 널리 이용되고 있지만, 인듐은 고가이기 때문에, 인듐을 함유하는 회수물이나 폐기물 등으로부터 인듐을 재이용할 것이 요구되고 있다. 본 연구를 통해 인듐을 함유하고 있는 산화물반도체로부터 희유금속인 인듐을 선택적으로 분리, 회수하였다. |
저자 | 김혁종1, 김효재1, 김진식1, 조성훈1, 원수현1, 전덕일2, 황수현2, 최영종2, 고정현2, 김영암2, 최병호1 |
소속 | 1금오공과대, 2(주)TSM |
키워드 | 인듐회수; FPD; 산화물반도체; 전극재료 |