| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 봄 (04/21 ~ 04/22, 한양대학교) |
| 권호 | 6권 1호, p.2005 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | RuO2 하부전극의 열적 안정성과 BST 박막의 조성에 미치는 영향에 대한 열역학적 계산 |
| 초록 | 본 연구는 RuO2 하부전극의 annealing 공정시의 열적 안정성과 RuO2 하부전극위에 BST 박막을 증착 시킬때 RuO2가 박막의 조성에 미치는 영향을 열역학적 평형 농도의 계산으로 관찰하였다. RuO2 박막은 진공에서 온도가 올라감에 따라 850K 정도에서 Ru 금속으로 분해가 되지만 산소분위기에서 annealing 공정을 하면 1000K 정도까지는 안정하다. RuO2 하부 전극 위에서의 BST박막을 제조시에는 금속유기화합물인 Ba(2, 26, 6-tetramethyl-3, 5-heptanedione)2, Sr(2, 2, 6, 6-tetramethyl-3, 5-heptanedione)2 와 Ti(O-i-C3H7)4 의 농도를 1 : 1 : 2로 했을때 가장 좋은 성질의 BST 박막을 얻을 수 있었다. |
| 저자 | 오윤진, 정찬화 |
| 소속 | 성균관대 |
| 키워드 | RuO2 electrode; BST Film; thermodynamic calculation |
| 원문파일 | 초록 보기 |
