| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2022년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 | 26권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-무기재료 |
| 제목 | 수소 불소 연속 도핑 공정을 통한 TiO2 산화물 반도체의 Optoelectronic 특성 제어 |
| 초록 | TiO2는 Optoelectronics 분야에서 가장 널리 다루어지고 있는 소재 중 하나 지만, 넓은 밴드갭으로 인해 효율이 낮은 한계를 지니고 있다. 이를 해결하기 위해, TiO2에 다양한 도핑 공정을 통해 밴드갭 조절 및 전도성 향상을 하고자 하는 연구가 진행되고 있다. 그 중 수소 도핑 공정은 산소공공을 형성하고 TiO2 격자구조 내에 침입형으로 도핑하여 낮은 낮은 밴드갭과 높은 전도성으로 뛰어난 특성을 보이는 Black TiO2를 형성한다. 본 연구에서는 이러한 Black TiO2에서 불소 연속 도핑 공정을 활용하여 산소 공공을 인위적으로 제어하고 그 사이를 불소 치환형 도핑을 유도한다. 최종적으로 제작된 TiO2 박막은 Optoelectronics 특성을 기존 대비 3배 이상 향상된 결과를 보여준다. 이러한 연속 도핑 공정 메커니즘을 다양한 분광 분석 및 이론 시뮬레이션을 통해 규명하고 설명하고자 한다. |
| 저자 | 이상연, 이정용 |
| 소속 | 한국과학기술원 |
| 키워드 | TiO2; Sequential doping; optoelectronics |
