화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교)
권호 5권 2호, p.4505
발표분야 재료
제목 화학증착법에 의한 YSZ 완충층과 YBCO 초전도 박막의 제조 및 특성 연구
초록 본 실험은 화학증착법으로 Ag 기판 위에 완충층 YSZ(yttria-stabilized zirconia)를 증착한 후에 고품질의 Y계 초전도 박막을 증착하는 데 그 목적이 있다. 또한 기판 결정에 따른 YSZ 완충층과 YBCO 결정성을 비교하기 위하여MgO(100)와 Ag 기판 위에 YSZ 완충층을 증착한 후에 YBCO 초전도 박막을 제조하였다. 제조된 YSZ 완충층과 YBCO 초전도 박막을 분석하기 위하여, 미세구조와 결정구조는 각각 주사전자현미경(SEM)과 X-선 회절(XRD)로 분석하였다.
저자 김길성, 황상철, 김연수, 조익준, 신형식
소속 전북대
키워드 CVD; YSZ buffer layer; YBCO superconducting thin film
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