| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2021년 가을 (11/03 ~ 11/05, 대구 엑스코(EXCO)) |
| 권호 |
25권 2호 |
| 발표분야 |
포스터-환경·에너지 |
| 제목 |
전산유체해석을 이용한 반도체 공정 공급배관 오염 현상 규명에 관한 연구 |
| 초록 |
반도체 공정에 사용되는 공업용수는 초순수의 생산수를 사용하고 있다. 초순수의 공업용수를 생산하는 것도 중요하지만, 공업용수가 반도체 공정까지 이동하는 동안 유기물 발생 및 이온 용출 등의 오염 현상이 일어날 가능성이 높기 때문에 공급배관 내에서의 오염을 억제하기 위한 연구가 필수적이다. 공급배관 내의 입자거동에 의한 배관 침식 현상과 입자 축적 현상을 해석하기 위해 전산유체해석 프로그램인 COMSOL Multiphysics® 시뮬레이션 플랫폼의 애드온 제품인 CFD 모듈을 사용하였고, Particle 모듈을 이용하여 단일 유체흐름 또는 다른 물리적 현상과 연계된 전산유체역학을 수행하였다. 유동해석 결과, 유량 조건에 따라 Dead-leg 발생과 입자 축적 현상 등이 복합적으로 일어나는 것을 확인하였다. 배관 내의 오염을 최소화 하기 위해서는 Dead-leg와 입자 축적 현상을 고려한 배관 설계가 필요한 것으로 나타났다. |
| 저자 |
박형호, 조형락, 최지혁, 이주영, 이송, 이상호
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| 소속 |
국민대 |
| 키워드 |
공업용수; 전산유체역학; 데드레그; 배관설계; 반도체공정
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