| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2017년 봄 (05/17 ~ 05/19, 목포 현대호텔) |
| 권호 | 23권 1호 |
| 발표분야 | E. 환경/센서 재료 분과 |
| 제목 | 팔라듐 삼산화몰리브덴 필름의 열처리에 따른 수소 검지 효과 향상 |
| 초록 | 삼산화 몰리브덴(MoO3) 박막을 RF Magnetron sputtering을 이용하여 증착 한 후 팔라듐(Pd) 박막을 E-beam evaporator를 이용해 증착하여 수소 노출에 따라 투과도가 변하는 가시적인 수소 센서를 제작하였다. MoO3은 독특한 층상 구조로 인해 많은 분야에 적용이 될 수 있어 관심을 끌고 있다. MoO3의 결정구조는 크게 사방정계인 α-MoO3와 단사정계이며 준안정상태인 β-MoO3이 있다. 이 서로 다른 두 결정구조는 다른 물리적, 화학적 성질을 가진다. 상온에서 증착한 MoO3의 경우 준안정상태인 β상이 지배적이어서 투과도가 50% 줄어드는 데 까지 약 150초가량이 걸린다. 하지만 400℃ 열처리 이후는 사방정계인 α상으로 바뀌게 되면서 층상구조가 되어, 40초 만에 투과도가 반으로 줄어든다. 이에 대해 MoO3의 수소 반응 후의 반응기에 대해 Raman 과 결정구조를 XRD를 통하여 분석하였고 이에 대한 메커니즘을 규명하였다. |
| 저자 | 이규연, 한승익, 서형탁 |
| 소속 | 아주대 |
| 키워드 | MoO3 Annealing; Hydrogen gas sensor; RF Magnetron sputter; E-beam evaporator |
