화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2008년 가을 (11/07 ~ 11/07, 차세대융합기술연구원)
권호 14권 2호
발표분야 전자재료
제목 Life Estimation for Demp Heat Test of ZnO System for TCO Thin Film
초록 Indium의 고갈 및 가격 상승으로 인한 디스플레이용 투명도전 박막으로 쓰이던 ITO 대체  재료에 대한 연구가 많이 진행이 되고 있다. 주로 많이 연구 되어지는 재료 중 하나가 산화 아연계 소재이다. 산화 아연계 소재는 ITO 수준의 저항과 높은 투과율을 가지고 있으며 또한 Dopant 제어를 통한 물성 향상 연구 활발하게 진행이 되고 있지만 안정성과 신뢰성 확보에 대한 연구는 제한적으로 진행이 되고 있다. 본 연구에서는 산화 아연계 n형 투명 도전막의 내습안정성 및 수명 예측을 위해 온도인자 및 습도인자에 대해서 가속 수명 시험을 실시하였고, 와이블 분포를 이용하여 특정 온도 및 습도조건에서 수명을 예측하였다. 고장 모드를 온도 및 습도에 의한 면저항 증가로 규정, 초기 면저항 값에서 15%이상으로 증가 할 경우를 고장으로 판명하고, 통계적인 해석을 실시하였다.
저자 Kang Jong-Ho1, Lee Myung-Htun2, Choi Hyung-Seok1, Choi Soon-Mok1, Bang Jung-Sik1, Lim Jin-Hyung3, Choi Heon-Jin3, Lee Deuk-Yong2
소속 1KICET, 2Yonsei Univ., 3LG Chem Ltd.
키워드 ZnO; Thin film; TCO; 내습; 신뢰성;
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