| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 | 16권 1호 |
| 발표분야 | C. Energy and the Environment(에너지 및 환경재료) |
| 제목 | 이종접합 태양전지용 투명전도 산화막의 특성 향상 연구 |
| 초록 | 본 연구는 1 wt. %(A1ZO)와 2 wt. %(A2ZO)의 Al2O3 함량을 가지는 doped ZnO (AZO) 박막을 rf 마그네트론 스퍼터를 이용하여 Ar과 수소가 함유된 Ar가스를 이용해 코닝 글래스(eagle 2000)위에 증착한 뒤 수소의 함량에 따른 AZO 박막의 전기적 및 광학적 특성에 관한 연구하였다. A1ZO와 A2ZO 박막 모두 수소의 함량이 증가할수록 캐리어 농도가 증가하였다. A1ZO 박막의 경우 수소의 함량이 증가할수록 비저항의 감소를 가져왔는데, 이는 30 cm2/vs 정도의 높은 홀 이동도 때문이다. 반면에 A2ZO 박막은 수소의 함량이 증가할수록 홀 모빌리티의 감소로 인해 비저항이 증가하는 것을 볼 수 있었다. 흡수계수의 경우 A1ZO는 A2ZO 필름의 절반인 650 cm-1의 값을 가졌다. 비록 A2ZO가 A1ZO박막보다 더 좋은 전기적 특성을 가지지만, 가시광 영역에서A1ZO박막의 낮은 흡수계수로 인해 3.8 Ω-1의 더 높은 Figure of merit (FOM) 값이 얻었다. 이는 수소를 도핑 시에는 금속 도펀트의 함량이 적은 AZO 박막이 더 이롭다는 것을 보여준다. 결과적으로 수소 도핑 시 가시광 영역에서 낮은 흡수계수를 가지고, 비교적 높은 전기적 특성을 가지는 낮은 금속 도펀트의 A1ZO 박막은 이종접합 태양전지에 적용할 수 있을 것이다. |
| 저자 | 이승훈1, 탁성주1, 강병준1, 천승주1, 최수영1, 김원목2, 김동환1 |
| 소속 | 1고려대, 2한국과학기술(연) |
| 키워드 | 이종접합; ZnO; magnetron sputtering; hydrogen |
