| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 가을 (10/23 ~ 10/24, 조선대학교) |
| 권호 | 4권 2호, p.3869 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 졸-겔법에 의한 0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3(PMN-PT) 박막 제조 |
| 초록 | 최근 전자 및 전기광학 장치에 이용되고 있는 강유전성 박막은 FRAM(ferroelectric random access memory)과 DRAM(dynamic random access memory), 캐패시터 등의 마이크로 전자공학에서 많은 관심을 불러 일으키고 있다.Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMN-PT)는 relaxor ferroelectric 특성을 지닌 PMN과 PT의강유전체 특성이 결합된 새로운 세라믹 물질로서 매우 높은 유전특성, 압전성, 전왜특성을지니고 있는 것으로 알려져 있으며 재료 특성 및 광전센서, 스위칭 디바이스 등 그의 응용이 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 세라믹 박막의 제조법 중 하나인 졸-겔법을 이용하여 PMN-PT(Lead Magnesium Niobate-Lead Titanate) 박막을 제조하고 열처리 등 공정 변수와 박막 특성과의 관계를 규명하고자 하였다. |
| 저자 | 김지광, 임동규, 김종성, 신영화 |
| 소속 | 경원대 |
| 키워드 | Sol-Gel; PLT; Ferroelectric |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
