| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 봄 (05/14 ~ 05/14, 강릉대학교) |
| 권호 | 10권 1호 |
| 발표분야 | 반도체 I (실리콘) |
| 제목 | Aspect ratio에 따른 array 패턴들의 전계 유도 방향성 결정화 및 특성 |
| 초록 | 소형 TFT LCDs의 LTPS (Low-temprature poly-silicon)공정은 휴대용 display의 고화질화와 얇고 가벼운 module의 구현에서 오는 공정의 단순화와 면적 활용도 극대화로 주목받고 있다. 이러한 LTPS의 공정 방법들 중 방향성 결정화에 따른 mobility의 향상 및 채널 내 금속 불순물 최소화가 기대되며 결정화 속도 향상에 따른 결정화 시간 단축이라는 장점들을 갖는 전계 유도 방향성 결정화(FALC)법이 있다. 본 연구에서는 FALC의 빠른 결정화 형태 및 특성 관찰을 위해 확산도가 높은 Cu를 금속 촉매로 사용하였으며 실제 디바이스의 채널지역 결정화 적용을 모색하기 위해 채널 지역을 형성하여 결정화를 수행하였다. 채널 사이즈는 가로 800㎛, 세로 800㎛를 1이라 하는 aspect ratio를 기준으로 800㎛부터 200㎛까지 200㎛씩 감소시켜 채널의 aspect ratio를 조절하였다. 조절된 각각의 채널들은 공통으로 연결된 배선을 통해 30V/cm의 전압이 인가되었으며, 결정화 온도 500℃ 그리고 결정화 시간 10hr.으로 제작된 로에서 FALC결정화를 수행하였다. 실험 결과 FALC의 일 방향성 결정화와 전류의 영향을 받은 결정화 형태를 확인 할 수 있었으며 1이하의 aspect ratio를 갖는 채널들의 결정화 효율이 높음을 확인 할 수 있었다. 이는 SEM 결과, aspect ratio 변화에 따른 입자의 치밀함 차이와 일치된 결과였다. 따라서 aspect ratio의 조절에 의한 FALC의 향상 가능성을 확인 할 수 있었다. |
| 저자 | 김병수, 김영배, 최덕균 |
| 소속 | 한양대 |
| 키워드 | FALC; LTPS; aspect ratio |
