| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2004년 가을 (11/05 ~ 11/05, 인하대학교) |
| 권호 |
10권 2호 |
| 발표분야 |
세라믹스 |
| 제목 |
이차원 콜로이드 결정과 자기조립 단 분자 막을 이용한 주기적 표면 나노 구조체 제작 |
| 초록 |
자기조립 특성을 갖는 두 가지 다른 크기의 재료를 리소그래피용 마스크로 사용하여 표면 나노 구조를 만드는 공정 기술을 개발하였다. 나노 미터 크기의 자기조립 단 분자 막 – OTS(octadecyltrichlorosilane)-SAMs - 과 마이크로 미터 크기의 콜로이드 이 차원 결정은 나노 미터 크기의 주기적 마스크 패턴을 가능하게 한다. OTS 자기조립 단 분자 막의 주기적 패턴은 콜로이드 입자가 이 차원으로 결정화된 기판을 OTS가 포함된 무수 톨루엔 용액에 담금으로 성장 시켰다. 구형의 주기적 패턴의 크기는 간단한 기하학적 고려로부터 계산되었고 주사원자력현미경에 의해 실험적으로 확인되었다. 원자층증착방법에 의한 이산화 티타늄의 선택적 증착과 선택적 식각 실험에서 OTS 패턴은 주기적으로 고립된 나노 구조체를 형성하는데 있어 고품질의 기능성 피막으로 작용하였다. 또한 50 ~ 100 nm 크기의 주기적 패턴을 실리카 자기조립 콜로이드 입자의 크기를 변화시킴으로써 성공적으로 제어할 수 있었다. 이 공정은 나노 패턴과 나노 구조체를 형성하는데 있어 새로운 방법을 제공할 것으로 기대된다. |
| 저자 |
배창득1, 신현정1, 문주호2, 성명모1
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| 소속 |
1국민대, 2연세대 |
| 키워드 |
surface nanostructure; self-assembled monolayer; colloidal crystal; self-assembly
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| E-Mail |
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