| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2014년 봄 (05/15 ~ 05/16, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 20권 1호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials) |
| 제목 | F첨가된 SnO2 투명산화물 박막의 제작 및 특성 |
| 초록 | 투명전극은 가시광선영역에서 빛을 투과함과 동시에 전기 전도성을 지니는 박막으로 Transparent Conducting Oxide(TCO)라 한다. TCO 관련연구는 평판 디스플레이, LED, 태양전지, 터치패널 등 다양한 분야에 걸쳐 진행 되고 있다. 특히 SnO2의 경우 ITO(Sn:In2O3)에 비해 저렴하고 내화학성, 내마모성이 우수하고 투과도가 높은 특성을 지니기에 우수한 TCO재료로 주목 받고 있다. 최근 Chemical Vapor Deposition(CVD), Sol-gel deposition, Sputtering 그리고 Pulsed Laser Deposition(PLD) 등 다양한 방법을 이용하여 불순물이 첨가된 SnO2박막을 제작을 시도 하고 있다. 본 연구에서는 비교적 낮은 기판온도에서 결정화 가능하고 박막의 증착 속도가 빠른 장점을 지닌 PLD를 이용하여 SnF2가 첨가된 SnO2 타겟을 쿼츠 기판 위에 증착을 시도하였다. 그리고 PLD를이용 조성, 두께 등의 다양한 증착 조건을 최적화하고, 그에 따른 박막의 광학적 특성 그리고 전기적 특성의 변화를 관찰 하였다. X-ray Diffraction(XRD)과 Field Emission-Scanning Electron Microscope(FE-SEM) 장비를 통하여 박막의 구조적 특성을 관찰하고, UV-Visble Spectrophotometer 장비를 통해 광학적 특성을, Hall-effect measurement 장비를 이용하여 전기적 특성을 관찰하였다. Acknowledge: 본 연구는 미래창조과학부에서 시행한 「경남 창원과학연구단지육성사업」기초원천 R&D 과제 지원사업으로 수행되었음, 본 연구는 미래창조과학부 및 정보통신산업진흥원의 대학 IT연구센터 육성지원 사업의 연구결과로 수행되었음(NIPA-2014-H0301-14-1016) |
| 저자 | 김성재1, 조호제2, 박근영1, 정영승1, 정민채3, 김광현3, 정아진3, 구본흔1 |
| 소속 | 1창원대, 2솔브레인, 3(주)은성 |
| 키워드 | Thin films; PLD; SnO2; Fluorine; Resistivity; Optical properties |
