| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2015년 가을 (11/04 ~ 11/06, 제주국제컨벤션센터(ICCJEJU)) |
| 권호 |
19권 2호 |
| 발표분야 |
디스플레이_포스터 |
| 제목 |
Electrical and optical properties of ITO film on PET by roll to roll sputtering and its application in touch screen panel |
| 초록 |
롤투롤 방식으로 ITO 필름의 제작 시 공정 변수에 따라 ITO 박막의 전기적 광학적 물성 변화가 매우 크기 때문에, 공정 변수에 따른 ITO 박막의 전기적, 광학적 특성 변화에 대한 연구의 필요성이 매우 높아지고 있다. 따라서 본 연구에서는 롤투롤 스퍼터링 방법으로 PET 기판 위에 다양한 조건으로 ITO 박막을 증착 하여 공정변수에 따른 ITO 박막의 물성을 조사 하였다. 이를 위해 Sn 함량이 각각 3, 5, 7.5, 10 wt% 도핑된 ITO 타겟을 사용하여 DC 파워와 산소 분압비에 따른 ITO 필름을 제작하고 구조적, 광학적, 전기적 특성을 분석하였다. 또한, 인덱스 매칭 ITO 필름을 제작하여 터치스크린 패널 소자로 응용하기 위한 기초 물성을 보고하고자 한다. |
| 저자 |
이재흥1, 이상진1, 김한기2, 백종현1, 김성현1, 김철환1
|
| 소속 |
1한국화학(연), 2경희대 |
| 키워드 |
ITO; Touch screen panel; Roll to roll sputtering
|
| E-Mail |
|
