| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, BEXCO(부산)) |
| 권호 | 14권 1호 |
| 발표분야 | 나노 |
| 제목 | 열화학 기상증착법을 이용한 수직 배열된 탄소나노튜브의 합성 |
| 초록 | 화학기상증착법은 생성물이나 원료가 다양하고 고순도의 물질을 합성하기에 적합하며, 미세구조를 제어할 수있다는 장점을 갖고 있다. 특히 시료의 처리가 간략하고 대면적과 대량생산이 가능하고 고순도의 탄소나노튜브의 성장이 가능한 장점이 있다. 최근에 탄소나노튜브의 성장과 성장속도를 증가시키기위한방법으로물을 첨가하여촉매의 활성화시간을 증가시키는 성장방법에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 Si기판위에 알루미나 버퍼층을 형성하는 방법으로RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여알루미늄을20 nm 미만의두께로 증착한 후 대기 중에서열적산화과정을 통해 산화알루미늄막을 형성시켰다. 산화알루미늄막의열적산화과정에 따라 합성한탄소나노튜브의 형태와 성장에 대해 고찰하였다. |
| 저자 | 김종석, 임익태, 장영윤 |
| 소속 | 전북대 |
| 키워드 | 열화학 기상증착법; 탄소나노튜브; 버퍼층 |
