| 초록 |
패터닝의 경우, 패턴을 형성하고자 하는 기판 물성과 공정 과정에 따라 soft, hard stamp의 이용이 결정된다. 지금까지 알려진 고분자 PDMS stamp의 경우, 기판과의 conformal contact 특성이 우수하고, 외부의 압력이 필요 없이 패터닝에 응용 가능한 장점을 가지고 있어 널리 이용되어 왔다. stamp의 저가 공정이 가능하고, 공정 자체의 단순화라는 장점이 있지만 PDMS 고분자 자체의 물성, 특히 기계적 강도가 약하기 때문에 패터닝에 있어 중요한 resolution에 한계를 가지고 있다. 반면, 이를 극복하고자 도입되었던 imprint lithography 공정 용 hard stamp의 경우, 대부분의 재료가 quartz, glass로 국한되면서 반복 패터닝 후에 stamp의 crack 현상이 나타나고, 고가의 공정이 필요한 단점을 가지고 있다. 현재로서는 응용분야에 적합한 맞춤형 stamp의 개발이 시급한 상황이다. 본 연구진은 이 발표를 통해 맞춤형 stamp의 개발을 향한 다양한 시도를 소개하고, 비접착처리와 다양한 물성의 경화성 유기물 또는 유무기 복합물을 이용한 고강도 stamp 제작에 대해 소개하고자 한다. |
