| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2008년 봄 (04/23 ~ 04/25, 제주ICC) |
| 권호 | 14권 1호, p.185 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | TFT-LCD공정의 폐액 처리를 위한 증류공정 연구 |
| 초록 | TFT-LCD 제조공정은 수많은 단위 공정들의 조합으로 구성되어 있다. 이들 중에 LCD 판의 PR 성분들을 세척하기 위한 STRIP 공정이 포함되어 있는데 이 STRIP 공정에서는 LCD 판의 PR 성분을 STRIPPER 라는 용제로 세척한 후 다시 DEVELOPER 라는 용제를 사용하여 LCD 판에 남은 잔류 STRIPPER를 씻어낸다. 이때 다량의 폐액이 배출 된다. TFT Etch 공정 후 PhotoResist 제거 액으로 사용하는 PR Strip 유기용제는 연간 사용량 약 30,000톤으로 원자재 구매비용 중 높은 비율을 차지하고 있다. 이러한 폐액은 환경, 대기 오염의 원인이 되고 있으며 etching 성능을 향상시키기 위한 새로운 유기혼합물이 포함된 stripper의 개발로 더욱 더 환경에 악영향을 미치고 있다. 현재 폐액들은 중화, 소각, 역삼투, 증발법 등으로 처리하고 있으나 대량의 여과 시스템 요구, 낮은 처리농도, 과도한 에너지 소모 등 그 처리의 한계로 인하여 폐액의 재활용 기술 및 분리정제기술, 새로운 stripper의 개발로 인한 용매회수공정 최적 운전조건의 연구가 요구된다. 본 연구의 목적은 이러한 문제점을 해결하기 위해 신규 Strip폐액의 효과적인 처리를 위한 증류공정의 개발과 새로운 Strip폐액을 증류기술 공정들에 적용하여 최적 운전 조건을 확인하고 에너지 절약 및 효율성을 높일 수 있는 공정을 설계하는 것이다. 컴퓨터 설계 tool을 이용하여 추출과 증류 공정을 전산모사하고 이들 공정의 기술적 타당성과 경제성을 비교 검토하였다. |
| 저자 | 윤문규1, 박명준2, 구기갑3, 이문용1 |
| 소속 | 1영남대, 2(주)코렉스, 3서강대 |
| 키워드 | photoresist; distillation process |
| 원문파일 | 초록 보기 |
