| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2016년 봄 (05/18 ~ 05/20, 여수 디오션리조트 ) |
| 권호 | 22권 1호 |
| 발표분야 | B. 나노화학/바이오 재료 분과 |
| 제목 | 전자빔 가공변수에 따른 노광 특성 분석 |
| 초록 | 반도체 분야 및 정보저장매체, 광학소자 분야등에 있어 소자의 고기능화와 고집적화를 위한 나노 형상의 패턴이 필요하다. 이를 위한 방법중의 하나로 전자빔에 의한 가공이 있다. 전자선 감광제를 도포 한 시료면에 자계렌즈에 의해 집속된 나노 크기의 spot 전자빔을 조사하여 감광제를 구성하는 고분자를 결합 또는 절단하여 시료 면상에 원하는 패턴을 형성하는 기술이다. 이러한 전자빔 가공을 통한 패턴의 형상은 노광량인 내적인 가공변수와 현상시간, 감광제의 종류 및 두께, 등의 외적인 가공변수에 의해 결정된다. 여기에서 내적인 가공 변수인 가속전압 및 빔전류, 빔 스텝 크기, 도즈량에 따른 노광특성 분석을 하고자 한다. |
| 저자 | 이준호, 안성진 |
| 소속 | 금오공과대 |
| 키워드 | e-beam; 나노패터닝 |
