화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2013년 가을 (10/30 ~ 11/01, 대전컨벤션센터)
권호 17권 2호
발표분야 포스터-무기재료
제목 Preparation and characterization of anti-reflective TiO2-SiO2 thin film sol-gel by spin-coating method
초록 최근 태양광이나 실내 조명 등에서 나오는 빛이 디스플레이 액정에서 반사 되는 현상을 최소화 하고자 굴절률이 서로 다른 물질을 교대로 코팅하여 빛의 상쇄 및 간섭 현상 일으키는 방법이 연구되어지고 있다. 본 연구에서는 이러한 반사 방지막을 제작하기 위해 sol-gel 용액을 사용하였으며 스핀 코팅법으로 유리 기질 위에 TiO2-SiO2로 이루어진 다중 막을 제조하였다. 이에 따라 저굴절률을 가진 SiO2 박막과 고굴절률을 가진 TiO2 박막 제조를 위해 TEOS(Tetraethyl orthosilicate)와 TTIP(Titanium isopropoxide)를 사용하여 각각의 sol 용액을 준비하였다. TiO2-SiO2 다중 반사 방지막의 광학적 특성을 확인하기 위하여 UV-Visible spectrophotometer를 사용해 반사율과 투과율을 측정하였고 도막의 두께는 Ellipsometer를 통해 확인하였다. 그리고 XRD(X-ray diffraction)와 AFM(Atomic force microscope) 및 FT-IR(Fourier transform infrared spectroscopy)을 통해 코팅막 표면의 구성 성분 및 결정 구조를 확인하였다.
저자 안세훈, 이동욱, 최병선, 곽삼탁, 문명준
소속 부경대
키워드 Sol-gel; Spin Coating; Anti-reflective coating
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