| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2013년 가을 (10/30 ~ 11/01, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 17권 2호 |
| 발표분야 | 포스터-환경.에너지 |
| 제목 | 산성가스 제거용 흡착제 개발 및 흡착 특성 연구 |
| 초록 | 반도체 및 디스플레이 산업에서 사용 중인 식각공정의 경우, HF, HCl, HBr, BCl3, Cl2 등의 산성가스가 많이 사용되고 있다. 이 산성가스의 경우 공기와 접촉 시 쉽게 반응하여 화재 및 폭발, 관로 부식, 독성 등으로 인해 유해가스로 지정되어 있어 배출 규제가 되고 있다. 이에 산성가스 제거 기술의 개발이 활발히 진행되고 있다. 산성가스를 제거하는 방법으로는 연소처리 및 습식, 건식 스크러버 방식 등 여러 방법이 사용되고 있다. 알칼리계의 흡착제를 이용한 산성가스 제거 기술이 저에너지 소비를 나타내며 2차 오염물질의 발생을 최소화하는 효율적인 산성가스 제거 기술로 대두되고 있다. 본 연구에서는 알칼리계의 흡착제 개발 및 흡착특성 연구를 진행하여 산업에서 배출되는 산성가스의 배출을 최소화고자 한다. 개발된 흡착제의 산성가스 흡착성능 비교 및 흡착제의 물리화학적 특성을 알아보기 위해 BET 및 EDX, XRD 등의 분석을 실시하였다. |
| 저자 | 이민우, 김대수, 최유강, 장원철 |
| 소속 | (주)코캣 |
| 키워드 | 흡착제; 산성가스; 건식스크러버 |
