화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2011년 봄 (05/26 ~ 05/27, 제주 휘닉스 아일랜드)
권호 17권 1호
발표분야 B. Nanomaterials and Processing Technology((나노소재기술)
제목 열플라즈마를 이용한 몰리브덴 금속나노입자의 합성과 응용
초록 몰리브덴 금속은 우수한 내열성, 내식성 및 고온 안정성으로 인해 발열체, 전극봉, 고온로의 구조재등으로 사용되고 있으며, 최근 OLED의 수명향상을 위해 몰리브덴 전극이 사용되면서 타겟소재에 대한 수요가 증가되고 있다. 본 연구에서는 몰리브덴 마이크로 분말을 출발 원료로 하여 열플라즈마를 이용한 기상 증발 응축법을 통해 100nm 크기의 몰리브덴 금속나노분말을 제조하였다. 제조된 분말은 XRD 분석을 통해 bcc 구조의 몰리브덴이 형성되었음을 확인하였으며, 불활성 분위기에서 열처리 온도조건 변화에 따른 최적의 타겟제조 공정 조건을 도출하였다. 제조된 고순도 몰리브덴 타겟은 저온 입자성장으로 인해 초미세 나노결정립 상태를 유지하고 있었으며, 상용제품에 비해 우수한 특성을 보여주었다. 
저자 김민지, 박종일, 정세훈
소속 포항산업과학(연)
키워드 열플라즈마; 몰리브덴; 금속나노입자
E-Mail