| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2007년 가을 (11/02 ~ 11/02, 성균관대학교) |
| 권호 | 13권 2호 |
| 발표분야 | 에너지환경재료 |
| 제목 | 수소처리에 따른 μc-Si 박막 태양전지용 Al-doped ZnO 박막의 특성 |
| 초록 | 일반적으로 수소는 defect passivation 역할을 하는 것으로 알려져 있으며, ZnO에서의 치환형 수소는 shallow donor 역할을 하여 Al, B, Ga 등의 3족 원소와 hydrogen co-doping을 통해 전기 전도도를 향상시킨다고 보고 되고 있다. 본 연구에서는 rf magnetron sputtering 법을 이용하여 기판온도와 반응가스의 수소유량 (H2/Ar+H2) 을 조절하여 Al 이 2 wt.% 도핑된 AZO 투명전도 산화막을 제작하고 광학적 특성 향상을 위해 묽은 HCl(0.5%) 용액에 담구어 표면식각 과정을 거친후 μc-Si:H 태양전지에 적용하여, 그 특성을 분석하였다. 투명전도막 제작시 수소유량비 2%, 기판온도 150 ℃ 에서 증착한 AZO:H 박막의 경우 3.21× 10-4 Ω•cm 의 낮은 비저항과 85% 이상의 높은 광투과도를 얻을 수 있었다. 박막 증착후 묽은 HCl (0.5%) 에서 표면 식각 공정을 통해 표면 형상 제어를 하였으며, 투명전도 산화막의 표면 형상에 따른 μc-Si:H 태양전지의 광전류 특성 및 양자효율을 측정하고, 수소화 되지 않은 AZO 박막과 비교하여 태양전지 효율변화를 분석하였다. |
| 저자 | 탁성주1, 강민구1, 이승훈2, 김원목2, 이정철3, 임희진1, 김동환1 |
| 소속 | 1고려대, 2한국과학기술(연), 3한국에너지기술(연) |
| 키워드 | TCO; Hydrogenated Al-doped ZnO; rf magnetron sputtering; μc-Si:H solar cell |
