| 초록 |
최근 터치 패널과 플렉서블 디스플레이 대한 관심이 커지면서 플라스틱 필름에 대하여 양질의 투명전도막을 증착시키기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. 하지만 현재 디스플레이용 투명전도막으로 가장 많이 적용되고 있는 ITO(Indium Tin Oxide)를 플라스틱 기판에 증착하는데 있어서는 아직 해결해야 할 어려움들이 많이 남아 있다. 그 중에서 가장 기초적인 기판의 표면 특성에 따른 투명전도막의 특성 변화에 대한 연구도 아직 부족한 실정이다. 본 연구에서는 플렉서블 디스플레이에 적용될 수 있는 PES, PC, PET 등의 여러 플라스틱 기판에 대하여 표면을 다양한 조건에서 플라즈마로 처리하여 이에 따른 기판 표면의 물리적, 화학적 변화를 AFM, 접촉각 측정, 광전자분광법(XPS) 등을 통하여 세밀히 분석하였고 각각 다르게 표면처리된 기판 위에 증착된 ITO 막의 (전기)전도성, 표면형상 등의 물리적 특성을 평가하여 플라스틱 기판의 표면 특성이 ITO 특성에 미치는 영향과 이들 특성 간의 연관성에 대하여 조사하였다. |
