학회 |
한국고분자학회 |
학술대회 |
2012년 봄 (04/12 ~ 04/13, 대전컨벤션센터) |
권호 |
37권 1호 |
발표분야 |
고분자가공/복합재료 |
제목 |
Preparation and Characterization of Flexible Display Plastic Substrates with Transparent Conductive Oxide |
초록 |
플렉시블 디스플레이는 기존 Flat Panel Display(FPD)와 비교하여 가볍고 휴대하기 좋으며, 깨지지 않으면서 변형이 자유로워 차세대 디스플레이로 주목받고 있다. 본 연구에서는 광투과도가 높은 플라스틱 기판 상에 수분 및 산소 투과방지막(SiOX, SiON)을 플라스틱 기판에 직접 응용하고자 PECVD 방법을 이용한 상온 증착을 시도하였다. 투명 전도성 박막인 ITO는 In2O3-10wt% SnO2 타겟을 사용하여 Dual magnetron sputtering 방법으로 상온 증착하였다. 제작된 복합기판은 광투과율 및 표면의 상태를 알아보기 위해 UV-VIS, SEM, AFM 등을 이용하였다. 제작된 복합기판은 플렉시블 LCD 소자의 상∙하 기판으로 사용하기 위해 제작되었으며, 플렉시블 LCD 소자를 제작하여 구동하였다. 복합기판의 반복적인 유연성 및 내구성을 평가하기 위해 고안된 반복 굽힘 시험(Bending tester) 후, 복합기판의 표면 저항 및 전도특성 변화를 관찰하였다. |
저자 |
정관호1, 김기현2, 최길영3, 신세문1
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소속 |
1한국화학(연), 2충남대, 3한국전자통신(연) |
키워드 |
Flexible Display; Plastic Substrates; ITO; PECVD; Bending test
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