한국화학공학회 2013년 가을학술대회 원자층 화학 증착 공정을 이용한 TiCxNy 박막의 공정 조건과 조성 변화에 따른 박막 특성 연구 조기희, 이시우 (포항공과대) 목록보기 목록보기
