한국화학공학회 2014년 봄학술대회 Realistic and real-time contact hole etch process simulation: 3D-SPEED 육영근1, 임연호1, 장원석2, 유동훈3, 최광성1, 조덕균1, 이세아1 (1전북대, 2핵융합(연), 3경원테크) 목록보기 목록보기
