한국화학공학회 2004년 가을학술대회 Tetrakis-diethylamido hafnium, trimethyl aluminum 그리고 water을 이용한 hafnia-alumina nano laminate 박막의 원자층 화학증착 김석훈, 이시우 (포항공과대) 목록보기 목록보기
