한국화학공학회 2002년 봄학술대회 마이크로 써멀 사이클 시스템의 모델링과 제어 성수환1, 박선원2, 윤대성, 임근배 (1한국과학기술원 화학공학과, 2삼성종합기술원 MEMS Lab) 목록보기 목록보기