대기압플라즈마의 표면처리공정
| 연구책임자 | 이원규 |
| 소속 | 강원대학교 화학공학과 |
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| 강의개요 | 대기압 플라즈마 표면처리기술은 열변형 및 공정 Space의 제한이 없으며 환경친화적인 특성을 갖고 있어 21세기형 clean Technology로 평가되고 있다. 이러한 대기압 플라즈마 기술은 반도체 제조공정에 국한되지 않고, 폴리머 및 저융점 금속의 표면처리, 플라즈마 살균, 램프, PDP 등의 특화된 산업분야에도 현재 응용되고 있으며, 전기, 전자산업, 자동차, 기계, 항공, 우주, 의료, 방산 산업 및 극한기술분야 등의 넓은 분야에서 핵심적인 산업기반 기술의 하나로 발전하고 있다. 따라서 대기압플라즈마소스에 대한 개발동향 및 표면처리에 대한 실제적 응용개발에 대한 연구정보를 알아본다. |