| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 7 |
Atomic layer deposition of Cu2O and CuO thin films using Cu(dmamb)2 precursor Seungmin Yeo, Gun Hwan Kim, Jeong Hwan Han, Soo-Hyun Kim, Hyungjun Kim, Taek-Mo Chung 한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
| 6 |
CuⅡ (dmamb)2 전구체를 이용한 전해도금용 구리 씨앗층의 원자층 증착에 관한 연구 진광선, 박재민, 박광민, 이원준 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
| 5 |
Plasma를 통한 기판 전처리가 구리 박막 성장에 미치는 영향 진성언, 최종문, 이도한, 이승무, 변동진, 정택모, 김창균 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
| 4 |
Cu(dmamb)2 전구체를 이용한 구리박막 제조 시 캐리어가스가 박막성장에 미치는 영향 최종문, 이도한, 진성언, 이승무, 변동진, 정택모, 김창균 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
| 3 |
구리 박막의 증착 분위기와 처리 과정에 따른 변화 이도한, 변동진, 진성언, 최종문, 김창균, 정택모 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
| 2 |
CVD를 이용한 Cu 증착 시 plasma 전처리로 인한 구조적 특성의 비교 분석 진성언, 변동진, 이승무, 박지훈, 이도한, 최종문, 김창균, 정택모 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
| 1 |
Cu(dmamb)2를 이용한 CVD Cu 박막의 제조 시 증착온도가 박막의 미세구조에 미치는 영향 최종문, 변동진, 이도한, 진성언 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
