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무전해도금을 이용한 diffusion barrier 박막 Ni 증착
김경민, 장효식
한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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Modification of barrier height of metal and silicon with nanoparticles and insulator
김현정, 장우출, 임희우, 권영균, 방민욱, 조해원, 정찬원, 전형탁
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Poly silicon 기판의 선 열처리 공정을 통한 nickel silicides 의 열적 안정성 확보
박봉준, 성태연
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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High Quality Nickel Atomic Layer Deposition for Nanoscale Contact Applications
Woo-Hee Kim, Han-Bo-Ram Lee, Kwang Heo, Seunghun Hong, Hyungjun Kim
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Synthesis of silica nanowires by rapid thermal annealing
Jin-Bok Lee, Seong-Han Park, Joon-Ho Oh, Chel-Jong Choi, Tae-Yeon Seong
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Effect of a NiCo interlayer on the electrical and structural properties of nickel silicides
Jin-Bok Lee, Bong-Jun Park, Chel-Jong Choi, Tae-Yeon Seong
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Metal Thin film Prepared by Atomic Layer Deposition for Contact Application of Nanoscale Device
방성환, 이한보람, 김형준
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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루테늄 첨가에 의한 니켈모노실리사이드의 안정화
윤기정, 송오성, 김종률, 최용윤
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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니켈 금속유도 결정화법으로 형성한 다결정 실리콘 박막의 물성및 미세구조 변화
홍진원, 배규식
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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코발트/니켈 복합 실리사이드의 Metal Contact 건식식각 안정성|Dry Etch Stability with Co/Ni Composite Silicide
정영순, 송오성
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
