화학공학소재연구정보센터
번호 제목
29 RF magnetron sputter로 성장시킨 고유전 TiO2:SiO2 박막의 특성(Properties of high-k TiO2:SiO2 films grown by RF magnetron sputter)
김성연, 오병윤, 함문호, 명재민
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
28 The Growth of the lanthanum oxide thin films for application as a gate oxide by plasma enhanced atomic layer deposition
Jun-Ho Moon, Myoung-Gyun Ko, Eun-Joo Lee, Sang-Kyun Park, Min-Soo Hong, Yoo-Jin Jeon, Jong-Wan Park
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
27 Low-voltage Organic Field Effect Transistors with Typical Polymer as Ultrathin Gate Dielectrics
양상윤, 김세현, 신권우, 전하영, 박찬언
한국고분자학회 2005년 가을 학술대회
26 Comparative study of ultra-thin HfSixOy and HfSixOy/SiO2 gate dielectrics grown by self-limiting surface reaction between Hf(NC2H5)4 and Si(OC4H9)4 precursor
김재현, 용기중
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
25 Electrical properties of MIM capacitor with La2O3 dielectrics deposited by ALD
조상진, 하정숙, 김수영, 박원태, 강동균, 김병호
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
24 다이렉트 플라즈마와 리모트 플라즈마 원자층 증착법으로 증착한 하프늄 산화막의 물리적, 전기적 특성에 관한 연구|The Characteristics of HfO2 Thin High-k Gate Oxide Deposited by Direct and Remote Plasma Atomic Layer Deposition Methods.
김인회, 국승우, 김석훈, 전형탁
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
23 SAMs 패턴에서의 선택적 증착을 이용한 MIS capacitor 제작|Fabrication of MIS Capacitors by Selective Deposition Technique on Patterned SAMs
원상희, 오태관, 김지영
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
22 SOI wafer Pseudo MOS Transistor에서의 SOI 및 BOX Thickness에 따른 trap density의 종속성|Dependency of SOI & BOX Thickness on trap density of SOI wafers in Pseudo MOS Transistor
손주환, 민병호, 권종성, 박재근
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
21 MOMBE로 성장한 고유전 HfO2 박막의 화학적, 전기적 특성|Properties of high-k HfO2 films grown by MOMBE
문태형, 최지혁, 명재민
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
20 Ru/Ti bilayer metal electrode를 이용한 게이트 일함수 조절|Workfunction tunability of Ru-Ti bilayer structure for metal gate electrode
고한경, 이태호, 박인성, 김경래, 이상설, 안진호
한국재료학회 2005년 봄 학술대회