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Hexafluoroacetylacetonate Copper(I) Allyltrimethylsilane을 이용한 초고집적 회로용 구리 박막의 유기금속 화학증착|Chemical Vapor Deposition of Copper from Hexafluoroacetylacetonate Copper(I) Allyltrimethylsilane
손종훈, 박만영, 이시우|Jong-Hoon Son, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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Tetrakis (dimethylamido) titanium을 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서의 기상반응에 대한 연구|Study on the Gas Phase Reaction in Metal-Organic Chemical Vapor Deposition of TiN
윤주영, 박만영, 이시우|Ju-Young Yun, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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CVD에 의한 YSZ 박막의 제조|Preparation of YSZ Thin Films by CVD
김기동, 전진석, 최동수|K.D.KIM, J.S.Jeon, D.Choi
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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TDEAT를 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서 수소와 질소 플라즈마 효과|The Effects of H2 and N2 Plasmain Metal Organic Chemical Vapor Deposition of TiN using TDEAT
윤주영, 이시우|Ju-Young Yun, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착공정에서의 기사반응 메카니즘 연구|Study on Gas Phase Reaction Mechanism for Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) Process of DMEAA
박만영, 윤종호, 이시우|Man-Young Park, Jong-Ho Yun, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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Boron Nitride의 유기금속 화학증착에서의 반응속도론|Kinetics of Metal Organic Chemical Vapor Deposition of Boron Nitride
이상열*, 이중기, 남영우*, 박달근|Sang-Yeol Lee*, Joong-Kee Lee, Young-Woo Nam*, Dalkeun Park
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
