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실리콘 웨이퍼의 폴리싱 공정에서 웨이퍼의 제거속도에 미치는 공정변수의 영향|Effect of process parameters on the removal rate of wafer surface in the polishing process of silicon wafer
배선혁, 김도현|Sun Hyuck Bae, Do Hyun Kim
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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RTP 시스템내의 웨이퍼 온도 균일도를 위한 모델링 및 모사|Modeling and Simulation for Wafer Temperature Uniformity in RTP System
박형진, 이정석, 박선원|Hyungjin Park, Jeongseok Lee, Sunwon Park
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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공침법에 의한 BaTiO3 초미분 합성에 관한 연구|Studies on the Synthesis of Ultra Fine BaTiO3 Particles by Coprecipitation method
이상균, 최광진, 구희정, 우경자, 김영대, 조영상, 구기갑|S. K. Lee, G. J. Choi, H. J. Koo, K. J. Woo, Y. D. Kim, Y. S. Cho, K. -K. Koo
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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비등온, 비정상상태에서의 흡착 및 탈착 공정에 관한 수치모사|Numerical Simulation on Nonisothermal and Unsteady State Adsorption/Desorption Process
최병석, 이종협|Byung-Seok Choi, Jongheop Yi
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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Sol-Precipitation에 의한 저온 상에서의 BaTiO3 초미분의 제조|Low Temperature Synthesis of Ultra Fine BaTiO3 Paticles by Sol-Precipitation
이상균, 최광진, 우경자, 김영대, 조영상, 구기갑|S. K. Lee, G. J. Choi, K. J. Woo, Y. D. Kim, Y. S. Cho, K. -K. Koo
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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폐유리의 활용을 위한 발포유리의 제조|Preparation of foaming glass for reuse of waste glass
이홍길, 오치훈, 황재석, 윤용수, 이철태|H. G. Lee, C. H. Oh, J. S. Hwang, Y. S. Yoon, C. T. Lee
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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동력조절이 플라즈마 에칭 반응기 성능에 미치는 효과|Effect of Power Modulation on the Performance
허진석, 신치범|J. S. Huh, C. B. Shin
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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ICP Oxide Etcher 안에서의 가스 흐름의 대칭성 향상|Enhancement of Gas Flow Symmetry in the ICP Oxide Etcher
정원영, 김도현|Won Young Chung, Do Hyun Kim
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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MOCVD 반응기의 샤워헤드의 구조가 박막증착속도의 균일도에 미치는 영향
정원영, 김도현
한국화학공학회 1995년 가을 학술대회 |
