| 15 |
Numerical 3D simulation of plasma etch profile with real plasma chemistry
박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
| 14 |
Synthesis of highly durable cation exchange membranes
정윤서, 박은지, 장한나, 임재석, 유혜성, 김경태, 황택성
한국고분자학회 2018년 가을 학술대회 |
| 13 |
Additive gas effects in fluorocarbon-based plasma etching chemistry
박재형, 장원석, 유동훈, 육영근, 유혜성, 임연호
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
| 12 |
Surface reaction modeling for oxygen effect in fluorocarbon plasma etch process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호, 박재형
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
| 11 |
3D Feature profile simulation for oxide etching under fluorocarbon/oxygen mixture plasma
박재형, 유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
| 10 |
Realistic plasma surface reaction model for cyclic fluorocarbon atomic layer etching process
유혜성, 임연호, 육영근, 유동훈
한국화학공학회 2017년 가을 학술대회 |
| 9 |
3D Feature Profile Simulation of Cyclic Fluorocarbon Atomic Layer Etching Process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
| 8 |
Molecular Dynamic Simulation for Contact Hole Etching Process under Fluorocarbon plasma
육영근, 유혜성, 최광성, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
| 7 |
Simulation of the kinetic models of plasma deposition and etching in semiconductor fabrication
유혜성, 임연호, 장원석, 육영근, 유동훈, 최광성
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
| 6 |
Advanced 3D feature profile simulation with a realistic plasma surface reaction model
육영근, 임연호, 유혜성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
