화학공학소재연구정보센터
번호 제목
6 ICP Oxide Etcher 안에서의 가스 흐름의 대칭성 향상|Enhancement of Gas Flow Symmetry in the ICP Oxide Etcher
정원영, 김도현|Won Young Chung, Do Hyun Kim
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회
5 가스상 세정공정에서 자연 산화막 제거에 대한 UV 조사의 영향|Effect of UV exposure on native oxide removal in dry cleaning process
권성구, 김도현|Sung Ku Kwon, Do Hyun Kim
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회
4 용융 방사용 Pack 안의 PET 용융액 흐름 분포
허호, 김도현
한국화학공학회 1995년 가을 학술대회
3 MOCVD 반응기의 샤워헤드의 구조가 박막증착속도의 균일도에 미치는 영향
정원영, 김도현
한국화학공학회 1995년 가을 학술대회
2 MOCVD 법에 의한 Cu 박막의 증착속도 및 증착두께 분포
정원영, 이경옥, 조영상, 김도현
한국화학공학회 1995년 봄 학술대회
1 SOI 소자 제조를 위한 ZMR 공정에 대한 모델링
왕종회, 김도현
한국화학공학회 1995년 봄 학술대회