번호 | 제목 |
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6 |
ICP Oxide Etcher 안에서의 가스 흐름의 대칭성 향상|Enhancement of Gas Flow Symmetry in the ICP Oxide Etcher 정원영, 김도현|Won Young Chung, Do Hyun Kim 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
5 |
가스상 세정공정에서 자연 산화막 제거에 대한 UV 조사의 영향|Effect of UV exposure on native oxide removal in dry cleaning process 권성구, 김도현|Sung Ku Kwon, Do Hyun Kim 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
4 |
용융 방사용 Pack 안의 PET 용융액 흐름 분포 허호, 김도현 한국화학공학회 1995년 가을 학술대회 |
3 |
MOCVD 반응기의 샤워헤드의 구조가 박막증착속도의 균일도에 미치는 영향 정원영, 김도현 한국화학공학회 1995년 가을 학술대회 |
2 |
MOCVD 법에 의한 Cu 박막의 증착속도 및 증착두께 분포 정원영, 이경옥, 조영상, 김도현 한국화학공학회 1995년 봄 학술대회 |
1 |
SOI 소자 제조를 위한 ZMR 공정에 대한 모델링 왕종회, 김도현 한국화학공학회 1995년 봄 학술대회 |