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The effect of plasma treatment during deposition process on remote plasma atomic layer deposited silicon nitride for charge trap layer 장우출, 김현정, 권영균, 신석윤, 임희우, 정찬원, 조해원, 전형탁 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Characteristics of Field Effect Transistor of Tin Disulfide Deposited by Atomic Layer Deposition at Low Temperatures 이주현, 함기열, 신석윤, 최형수, 이남규, 전형탁 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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플렉시블 리튬이온전지를 위한 Ti3+가 도핑된 TiO2 음극재의 제조 및 복합전극 비율 변화 조희구, 김지수, 석동일, 우미혜, 최성호, 강영구, 전형탁, 정하균 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Atomic Layer Deposited Gate Spacer for New Memory Devices 이재민, 장우출, 김현정, 권영균, 전형탁 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Characteristics of ALD VO2 with H2O reactant 임희우, 신창희, 김현정, 장우출, 전형탁 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Optimization of tin monosulfide thin film by atomic layer deposition 최형수, 신석윤, 박주현, 함기열, 이주현, 이승진, 전형탁 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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9Remote plasma ALD of Silicon nitride at low temperature for gate spacer 김만석, 장우출, 김현정, 이재민, 이건영, 신창희, 권영균, 임희우, 전형탁 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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The sulfur annealing effect of WCN thin film by atomic layer deposition 이승진, 신석윤, 함기열, 박주현, 김현정, 이주현, 최형수, 전형탁 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Characteristics of Si:ZrO2 deposited by ALD using CP-Zr 이건영, 장우출, 김현정, 임희우, 전형탁 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Characteristics of silicon oxy-carbide deposited by RPALD using OMCTS 이재민, 장우출, 김현정, 권영균, 전형탁 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |