화학공학소재연구정보센터
번호 제목
9 Electrical properties of Zr-doped TiO2 thin films for DRAM capacitors
권 혁, 박현희, 하정숙
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
8 Design of 45 nm Silicon-on-insulator (SOI) n-metal―oxide―semiconductor Field-effect Transistor (MOSFET) Floating Body Cell (FBC) for Optimal Memory Characteristics
Jin-Woo Choi, Young-Hwan Ryu, Seong-Je Kim, Tae-Hun Shim, Jea-Gun Park
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
7 원자층 증착법으로 증착시킨 SrO-RuO2 적층구조의 열처리에 의한 perovskite-SrRuO3형성 및 DRAM 캐패시터 전극특성에 관한 연구
안지훈, 김성욱, 오흥룡, 김지혜, 강상원
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
6 Thermal Stability of Ruthenium and Iridium Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition
김성욱, 권세훈, 강상원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
5 Thermal stability of chemical vapor deposited Ru thin films on TiN substrate and SiO2 substrate
김범석, 김형준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
4 초미세 메모리 커패시터의 전극형성을 위한 식각 기술|Patterning issues for the fabrication of sub-micron memory capacitors' electrodes
김현우
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
3 (Bi,La)Ti3O12 강유전체 물질을 갖는 전계효과형 트랜지스터의 제작과 특성연구|Preparation and Properties of Field Effect Transistor with (Bi,La)Ti3O12 Ferroelectric Materials
서강모, 조중연, 장호정
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
2 졸-겔법에 의한 0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3(PMN-PT) 박막 제조|The Fabrication of 0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3(PMN-PT) Thin Film via Sol-gel Method
김지광, 임동규, 김종성, 신영화|Jikwang Kim, Dongkyu Lim, Jongsung Kim, Younghwa Shin
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회
1 LPCVD로 성장된 Ta2O5 박막 및 커패시터 특성|Thin film capacitors of Ta2O5 grown by LPCVD
최영석, 조성민|Young-Suk Choi, Sung Min Cho
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회