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액적화학증착법을 이용한 (Bi, La)4Ti3O12 박막의 증착 및 특성분석|Deposition and characterization of (Bi, La)4Ti3O12 (BLT) thin films prepared by liquid source misted chemical deposition (LSMCD)
정현진, 정숙진, 우성일|Hyun Jin Chung, Suk Jin Chung, Seong Ihl Woo
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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액적화학증착법을 이용하여 제조한 (Pb, Sr)TiO3 박막의 특성분석|Characterization of (Pb, Sr)TiO3 thin films prepared by liquid source misted chemical deposition
정현진, 우성일|Hyun Jin Chung, Seong Ihl Woo
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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액적화학증착법을 이용한 초고집적 DRAM capacitor용 (Pb, Sr)TiO3(PST) 박막|(Pb, Sr)TiO3(PST) thin films for ULSI DRAM capacitor prepared by liquid source misted chemical deposi
정현진, 정숙진, 우성일|Hyun Jin Chung, Suk Jin Chung, Seong Ihl Woo
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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LSMCVD 공정으로 제조한 BST 박막의 저온 결정화|Crystallization at Low Temperature of BST Thin Films Prepared by LSMCVD
박진, 정현진, 박승빈, 우성일|Jin Park, Hyun Jin Chung, Seung Bin Park, Seong Il Woo
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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액적화학증착법을 이용한 BST 박막의 제조 및 전기적 특성평가|Preparation and Electrical Properties of BST Thin Films Deposited by Liquid Source Misted Chemical Vapor Deposition (LSMCVD)
정현진, 최재형, 이정용, 우성일|H. J. Chung, J. H. Choi, J. Y. Lee, S. I. Woo
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
