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번호	제목
11	Preparation of HfN Thin Film by Plasma Assisted Atomic Layer Deposition using tetrakis(dimethylamino)hafnium 김은정, 김도형 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
10	Pd deposited by atomic layer deposition on TaN substrate and Cu fill-up of the damascene structure using electroless deposition 김영순, Jay J. Senkevich, Toh-Ming Lu, 양회창, 김길성, 신형식 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
9	MOMBE로 성장한 고유전 HfO₂ 박막의 전기적 특성\|Properties of high-k HfO₂ films grown by MOMBE 문태형, 함문호, 김명석, 윤일구, 명재민 한국재료학회 2004년 봄 학술대회
8	Dichlorobis[bis(trimethylamido)]hafnium과 물을 이용한 Hafnium Silicate의 단원자층 화학증착 남원희, 강상우, 이시우, 이정현, Steven. M. George 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
7	Atomic Layer Deposition of HfO2 Using Hf(O-iPr)4 and O2 김정찬, 허정식, 조용석, 문상흡 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
6	Preparation and Characterization of ZnO Nano Films by Atomic Layer Deposition 이 석, 최락준, 한윤봉 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
5	Atomic layer deposition으로 증착된 Ta2O5 박막의 전도기구에 대한 UV ozone annealing 효과\|Effects of UV ozone annealing on conduction mechanism in Ta2O5 thin films deposited by atomic layer deposition 엄다일, 전인상, 노상용, 황철성, 김형준 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
4	템플레이트에서 원자층 증착기술을 이용한 금속산화물 나노튜브의 제작방법\|The novel Fabrication method of the metal oxide nanotube on template using atomic layer deposition 정대균, 박노헌, 성명모, 이재갑, 신현정, 김지영 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
3	고유전체 전극물질로서의 TaN 응용가능성 연구\|Research on applicability of TaN as an electrode material for high-k dielectrics 김영순, 이태호, 안진호 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
2	ALD법으로 증착된 실리콘 절연박막의 물리적·전기적 특성\|Physical and Electrical Characteristics of Silicon Dielectric Thin Films by Atomic layer Deposition 한창희, 이주현, 김운중, 이원준, 나사균 한국재료학회 2003년 가을 학술대회