| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
플라즈마 기상 증착법에 의한 보론카바이드 박막의 RF 변화에 따른 효과|Effect of Boron carbide thin films with RF power by plasma enhanced chemical vapor deposition 연대흠, 진정근, 김길영, 강호재, 박현규, 변동진 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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플라즈마 기상 증착법에 의한 보론카바이드 박막의 RF 변화에 따른 효과|Effect of Boron carbide thin films with RF power by plasma enhanced chemical vapor deposition 연대흠, 진정근, 김길영, 강호재, 박현규, 변동진 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |