| 번호 | 제목 |
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극자외선 노광 공정용 마스크 제작 공정의 최적화 연구|Optimization of mask fabrication process for EUV lithography 김우삼, 김충용, 김태근, 이승윤, 안진호 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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TiO2 박막의 두께 및 열처리 온도에 따른 광학적 특성 분석|Study on the TiO2 Thin Film Thickness and Post Anneal for the Optical Properties 이상설, 장문익, 김우삼, 이태호, 박인성, 안진호 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
