화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 Plasma enhanced atomic layer deposition of aluminium oxide passivation layers
김태섭, 고명균, 김웅선, 문대용, 강병우, 박종완
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
3 Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition
김웅선, 고명균, 김태섭, 박상균, 박종완
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
2 Effect of plasma treatment to surface of the titanium oxide deposited by plasma enhanced atomic layer deposition
김웅선, 고명균, 김태섭, 박종완
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
1 Titanium oxide thin films deposited by plasma enhanced atomic layer deposition for encapsulation of organic devices
김태섭, 김웅선, 고명균, 박종완
한국재료학회 2007년 봄 학술대회