번호 | 제목 |
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4 |
Plasma enhanced atomic layer deposition of aluminium oxide passivation layers 김태섭, 고명균, 김웅선, 문대용, 강병우, 박종완 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition 김웅선, 고명균, 김태섭, 박상균, 박종완 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
2 |
Effect of plasma treatment to surface of the titanium oxide deposited by plasma enhanced atomic layer deposition 김웅선, 고명균, 김태섭, 박종완 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
1 |
Titanium oxide thin films deposited by plasma enhanced atomic layer deposition for encapsulation of organic devices 김태섭, 김웅선, 고명균, 박종완 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |