| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
동력조절이 플라즈마 에칭 반응기 성능에 미치는 효과|Effect of Power Modulation on the Performance 허진석, 신치범|J. S. Huh, C. B. Shin 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
동력조절이 플라즈마 에칭 반응기 성능에 미치는 효과|Effect of Power Modulation on the Performance 허진석, 신치범|J. S. Huh, C. B. Shin 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |