화학공학소재연구정보센터
번호 제목
19 The influence of hafnium doping on bias stability in zinc-tin oxide thin film transistors
강유진, 한동석, 문대용, 박재형, 이상호, 신소라, 박종완
한국재료학회 2012년 가을 학술대회
18 The self-forming barrier characteristics of Cu-V and Cu-Mn films for Cu interconnects
박재형, 문대용, 한동석, 강유진, 이상호, 신소라, 박종완
한국재료학회 2012년 가을 학술대회
17 Improvement in the negative bias stability on the water vapor permeation barriers on Hf doped SnOx thin film transistors
한동석, 문대용, 박재형, 강유진, 윤돈규, 신소라, 박종완
한국재료학회 2012년 봄 학술대회
16 Effects of hydrogen and ammonia partial pressure on MOCVD Co/TaNx layer for Cu direct electroplating
박재형, 문대용, 한동석, 윤돈규, 박종완
한국재료학회 2012년 봄 학술대회
15 Improvement in the Performance of ZnO Thin-Film Transistors with Doped Hf and Sn doping elements
강유진, 문대용, 한동석, 박재형, 윤돈규, 박종완
한국재료학회 2012년 봄 학술대회
14 Influence of H2/NH3 reactive gas ratio on CVD Co layer for Cu interconnect
박재형, 박종완, 문대용, 윤돈규
한국재료학회 2011년 가을 학술대회
13 Investigation of vanadium-based thin interlayer for Cu diffusion barrier
한동석, 박종완, 문대용, 박재형, 문연건, 김웅선, 신새영
한국재료학회 2011년 봄 학술대회
12 Effects of nitrogen reactive gas on PEALD TaNx diffusion barrier for Cu interconnect
박재형, 문대용, 한동석, 신새영, 박종완
한국재료학회 2011년 봄 학술대회
11 Self-forming barrier process using PEALD Cu-Mn alloy for advanced Cu interconnect
문대용, 한동석, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
10 Improvement of water barrier property  of Al2O3/TiO2 multi-layer deposited by plasma enhanced atomic layer deposition on PES substrate
권태석, 문연건, 김웅선, 문대용, 김경택, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회