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The influence of hafnium doping on bias stability in zinc-tin oxide thin film transistors 강유진, 한동석, 문대용, 박재형, 이상호, 신소라, 박종완 한국재료학회 2012년 가을 학술대회 |
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The self-forming barrier characteristics of Cu-V and Cu-Mn films for Cu interconnects 박재형, 문대용, 한동석, 강유진, 이상호, 신소라, 박종완 한국재료학회 2012년 가을 학술대회 |
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Improvement in the negative bias stability on the water vapor permeation barriers on Hf doped SnOx thin film transistors 한동석, 문대용, 박재형, 강유진, 윤돈규, 신소라, 박종완 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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Effects of hydrogen and ammonia partial pressure on MOCVD Co/TaNx layer for Cu direct electroplating 박재형, 문대용, 한동석, 윤돈규, 박종완 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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Improvement in the Performance of ZnO Thin-Film Transistors with Doped Hf and Sn doping elements 강유진, 문대용, 한동석, 박재형, 윤돈규, 박종완 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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Influence of H2/NH3 reactive gas ratio on CVD Co layer for Cu interconnect 박재형, 박종완, 문대용, 윤돈규 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
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Investigation of vanadium-based thin interlayer for Cu diffusion barrier 한동석, 박종완, 문대용, 박재형, 문연건, 김웅선, 신새영 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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Effects of nitrogen reactive gas on PEALD TaNx diffusion barrier for Cu interconnect 박재형, 문대용, 한동석, 신새영, 박종완 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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Self-forming barrier process using PEALD Cu-Mn alloy for advanced Cu interconnect 문대용, 한동석, 박종완 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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Improvement of water barrier property of Al2O3/TiO2 multi-layer deposited by plasma enhanced atomic layer deposition on PES substrate 권태석, 문연건, 김웅선, 문대용, 김경택, 박종완 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |