화학공학소재연구정보센터
번호 제목
31 유기산 용액의 고온 고압 조건에서 구리 산화물의 용해 특성
이원규, 강승목, 김남훈, 허성은
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
30 전기적 특성 평가를 통한 Nano-Trench Patterned Si Wafer의 건식 세정 효과 분석  
채명균, 최창환
한국재료학회 2017년 가을 학술대회
29 분리막 회복 감시장치 개발을 위한 회복율 평가로직에 관한 연구
박찬규
한국공업화학회 2017년 봄 학술대회
28 Si 웨이퍼 제조 공정 중 발생하는 금속 오염물 및 오염 입자 제거를 위한 세정공정 연구
송희진, 박건호, 장성해, 김민수, 박진구
한국재료학회 2016년 봄 학술대회
27 반도체 제조공정에서 배출되는 NF3의 가수분해를 위한 Sulfate 담지 알루미나의 촉매활성
이진욱, 성연백, 이태훈, 김민정, 박창준, 최원영, 이태진, 박노국, 장원철, 최희영
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
26 액정 패널 제작공정 중 발생하는 submicron 오염입자  제거에 대한 FPD 세정공정의 개발 및 연구
이준, 김현태, 김민수, 박진구
한국재료학회 2014년 가을 학술대회
25 메가소닉 세정공정에서 세정액내 첨가 가스의 특성이 미세오염입자 제거효율에 미치는 영향
이준, 김향란, 김동하, 박진구
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
24 반도체용 포토마스크 보호를 위한 펠리클 프레임 제조 시 발생되는 오염물 제거를 위한 세정 공정 개발
김현태, 박진구, 강봉균, 김민수, 조윤식, 문정일
한국재료학회 2013년 가을 학술대회
23 연속적인 반응증류를 통한 젖산의 회수
이진홍, 조 훈, 최유미, 조임표, 한명완
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회
22 분리막 기반 폐글리세롤 정제공정에서의 효율적인 세정공정 인자 확립
조재훈, 이준학, Myong K. Ko, 이진원, 김상용
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회