| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 8 |
A Study of Hard-Mask using Organic-inorganic Hybrid Materials 유제정, 송재동, 이성구, 이경균, 황석호, 김상범 한국고분자학회 2010년 가을 학술대회 |
| 7 |
유,무기 하이브리드 소재의 하드마스크 합성 및 건식각 특성에 관한 연구 송재동, 유제정, 김상범, 황석호, 이성구, 이경균 한국고분자학회 2010년 봄 학술대회 |
| 6 |
선형 유무기 하이브리드 형태의 하드마스크 제조 및 특성연구 유제정, 송재동, 이경균, 이성구, 김상범 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |
| 5 |
Hybrid hard mask with single layer to apply spin-on process 송재동, 유제정, 이성구, 이경균, 김상범 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |
| 4 |
플라즈마 처리에 의한 표면개질이 습식세정 효율에 미치는 영향 백지영, 이명화, 송재동, 김상범, 김경수, 김성현 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
| 3 |
UV/O3를 이용한 표면개질이 반도체 정밀세정에 미치는 영향 송재동, 백지영, 이명화, 김상범, 김경수 한국공업화학회 2009년 봄 학술대회 |
| 2 |
진공 플라즈마 세정기술을 이용한 나노패턴 웨이퍼의 표면세정 백지영, 송재동, 이명화, 김상범, 김경수, 김성현 한국공업화학회 2009년 봄 학술대회 |
| 1 |
Dry cleaning of organic contaminants on a Si wafer surface using atmospheric& vacuum plasma 송재동, 백지영, 이명화, 김상범, 김경수 한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
