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다양한 펄스 플라즈마를 이용한 식각 기술 향상을 위한 연구 홍종우, 오지수, 김희주, 김정완, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Study on Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction (MTJ) Materials using Reactive Ion Beam Etching (RIBE) for MRAM devices 김예은, 김두산, 김주은, 길유정, 장윤종, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Direct Nanoparticle Coating without Toxic Materials by Atmospheric Pressure Plasma Jet 장윤종, 문무겸, 김동우, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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3D NAND 식각 기술에 적용될 신규 L-HFC 식각 기술 연구 탁현우, 성다인, 홍인표, 문룡, 김동우, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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중성빔을 이용한 블록공중합체 패턴의 저손상 식각에 관한 연구 장원준, 김교운, 오지수, 김희주, 홍종우, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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유도결합 리모트 플라즈마를 이용한 MoS2 의 chlorine doping 및 광전특성 제어에 관한 연구 강지은, 김기현, 지유진, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Poly Si Nano-Pattern Etching Using Cl2/Ar Synchronized, Asynchronized Pulsed Inductively Coupled Plasmas 김희주, 김교운, 홍종우, 오지수, 김정완, 이채린, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Study on Etch Characteristics of PRAM material using Hydrogen based Gases 길유정, 김두산, 김주은, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma 신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Pulsed biased 적용을 통한 Si와 TiO2 나노구조체의 식각 특성 향상에 대한 연구 김희주, 신예지, 오지수, 김교운, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |