| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
원자층 증착법으로 증착시킨 SrO-RuO2 적층구조의 열처리에 의한 perovskite-SrRuO3형성 및 DRAM 캐패시터 전극특성에 관한 연구 안지훈, 김성욱, 오흥룡, 김지혜, 강상원 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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원자층 증착법으로 증착시킨 SrO-RuO2 적층구조의 열처리에 의한 perovskite-SrRuO3형성 및 DRAM 캐패시터 전극특성에 관한 연구 안지훈, 김성욱, 오흥룡, 김지혜, 강상원 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |